CIQTEK SEM5000Pro

Strona główna Produkty Mkroskopy elektronowe CIQTEK SEM5000Pro

Silver metal electrode cross-section 5kV BSED

CIQTEK SEM5000Pro

CIQTEK SEM5000Pro to wysokorozdzielczy skaningowy mikroskop elektronowy z emisją polową Schottky’ego (FE-SEM), który został zaprojektowany do uzyskiwania wysokiej rozdzielczości, nawet przy niskich napięciach przyspieszających. Zastosowanie zaawansowanej opatentowanej technologii optyki elektronowej „CIQTEK-Super-Tunnel” umożliwia uzyskanie wiązki o specjalnej geometrii dodatkowo zastosowanie konstrukcji soczewki złożonej z elementów elektrostatycznych i elektromagnetycznych, pozwala zredukować efekt ładowania się powierzchni próbki, minimalize aberracje soczewek.

Zastosowane technologie poprawiają rozdzielczość obrazowania przy niskich napięciach, mikroskop 5000PRO osiąga rozdzielczość 1,1 nm przy 1 kV, co umożliwia obserwację próbek nieprzewodzących lub częściowo przewodzących a także skutecznie zmniejsza uszkodzenia próbki spowodowane ekspozycją na wiązkę elektronową.

Źródło	Działo elektronowe z emisją polową Schottky’ego)
Rozdzielczość w wysokiej próżni	0,7 nm przy 15 kV (detektor SE), 1,1 nm przy 1,0 kV (detektor SE),
Zakres napięcia przyspieszającego	od 0,02 kV do 30 kV
Zakres powiększenia	1– 2 500 000x
Kamera	Optyczna nawigacji, kamera IR do podglądu wewnątrz komory
Stolik próbki	X, Y ≥ 110 mm, Z ≥ 65 mm T od -10 do 70⁰ R 360⁰
Standardowe	Detektor wewnątrz soczewkowy In-Lens Detektor Everhart-Thornley ETD
Opcjonalne	Chowany detektor elektronów wstecznie rozproszonych (RET-BSED)
	Detektor skaningowej transmisyjnej mikroskopii elektronowej (STEM)
	Energodyspersyjny spektrometr rentgenowski (EDS / EDX)
	Detektor dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (EBSD)
	Detektory do pracy w niskiej próżni LVD
Akcesoria	Śluza boczna 4” i 8”
	Panel sterowania i trackball
	Sprzętowy moduł antykolizyjny

Kategoria:

Mkroskopy elektronowe /

Mikroskopy z emisją polową FEG-SEM

Zaawansowana optyka elektronowa

★ Technologia kolumny optyki elektronowej „Super Tunnel” pozwala na hamowanie wiązki w soczewce (in-lens)
Zmniejsza efekt lokalnego ładowania, zapewniając wysoką rozdzielczość przy niskich napięciach.

★ Brak punktu skrzyżowania (crossover-free) na drodze wiązki elektronowej
Skutecznie redukuje aberracje soczewki i poprawia rozdzielczość.

★ Złożona soczewka obiektywowa elektromagnetyczno-elektrostatyczna
Ogranicza aberracje, znacząco poprawia rozdzielczość przy niskich napięciach oraz umożliwia obserwację próbek magnetycznych.

★ Chłodzona wodą soczewka obiektywowa o stałej temperaturze
Zapewnia stabilność, niezawodność i powtarzalność pracy soczewki obiektywowej.

★ Zmienna, wielootworowa przysłona z elektromagnetycznym układem odchylania wiązki
Automatyczne przełączanie między przysłonami bez ruchu mechanicznego, umożliwiające szybkie zmiany trybów obrazowania.

Obrazowanie przy niskim napięciu przyspieszjącym

Membrana baterii litowo-polimerowej

Napięcie przyspieszające 200 V

Detektor In-lens

lithium-ion polymer membrane fiber 200V in-lens

Mezoporowata krzemionka SBA-15

Napięcie przyspieszające 400 V

Detektor In-lens

Tryb podwójnego spowalniania wiązki DUO-DEC, spowalnianie w kolumnie oraz na stoliku próbki

Detekcja wewnątrz soczewkowa In-Lens

Zawansowane detektory wewnątrz soczewkowe In-Lens, pozwalają na wysokorozdzielcze obrazowanie słabo przewodzących próbek, przy niskim napięciu.

Sito molekularne ZSM-8, typowy zeolit stosowany w wielu obszarach inżynierii materiałowej. Wymaga obrazowania przy niskim napięciu, bez stosowania powłoki przewodzącej. Mikroskop SEM5000PRO umożliwia bezpośrednią charakterystykę szczegółów powierzchni.

Tryb ECCI oparty na detektorze BSED

Tryb ECCI oparty na detektorze BSED (Electron Channeling Contrast Imaging – obrazowanie kontrastu kanałowania elektronów).

Tryb ECCI odnosi się do znaczącego zmniejszenia rozpraszania elektronów przez sieć krystaliczną, gdy padająca wiązka elektronów spełnia warunek dyfrakcji Bragga, co pozwala dużej liczbie elektronów przechodzić przez sieć i powoduje wystąpienie efektu „kanałowania”.

W przypadku materiałów polikrystalicznych o jednorodnym składzie i wypolerowanej, płaskiej powierzchni intensywność elektronów wstecznie rozproszonych zależy od względnej orientacji między padającą wiązką elektronów a płaszczyznami krystalicznymi. Ziarna o większym zróżnicowaniu orientacji wykazują silniejszy sygnał, a tym samym jaśniejszy obraz, co umożliwia osiągnięcie jakościowej charakterystyki w postaci mapy orientacji ziaren.

3d drukowana struktura, po wypolerowaniu wiązką jonową.

Jednoczesne obrazowanie wielokanałowe z wykorzystaniem różnych detektorów.

Obraz kontrastu liczby atomowej uzyskany z wykorzystaniem wysuwanego detektora elektronów wstecznie rozproszonych.

Obrazy stereoskopowe cech morfologicznych uzyskane przy użyciu detektora Everharta–Thornleya

Obraz w bardzo wysokiej rozdzielczość cech topografii powierzchni dzięki obrazowaniu z wykorzystaniem detektora elektronów w soczewce (in-lens).

Wysuwany detektor do skaningowej transmisyjnej mikroskopii elektronowej (STEM)

Wielu trybów pracy: obrazowanie w polu jasnym (BF – Bright-field), obrazowanie w polu ciemnym (DF – Dark-field), obrazowanie w polu ciemnym z pierścieniowym detektorem pod dużym kątem (HAADF – High-angle annular dark-field).


Obrazowanie w polu jasnym przekroju rośliny (STEM-BF)	Obrazowanie w polu ciemnym przekroju rośliny (STEM-DF)	Obrazowanie w polu ciemnym pod dużym kątem przekroju rośliny (STEM-HAADF)

Magnetyczny polimer

Polimerowa kulka z rdzeniem ferromagnetycznym

Napięcie przyspieszające 2 kV

Detektor ETD

Tryb podwójnego spowalniania wiązki DUO-DEC, spowalnianie w kolumnie oraz na stoliku próbki

Specyfikacja:

CIQTEK FESEM SEM5000pro
Optyka elektronowa	Źródło	Działo elektronowe z emisją polową Schottky’ego)
	Rozdzielczość w wysokiej próżni	0,7 nm przy 15 kV (detektor SE), 1,1 nm przy 1,0 kV (detektor SE),
	Zakres napięcia przyspieszającego	od 0,02 kV do 30 kV
	Zakres powiększenia	1– 2 500 000x
Komora	Porty rozszerzeń	20
	Kamera	Optyczna nawigacji, kamera IR do podglądu wewnątrz komory
	Stolik próbki	X, Y ≥ 110 mm, Z ≥ 65 mm T od -10 do 70⁰ R 360⁰
Detektory	Standardowe	Detektor wewnątrz soczewkowy Detektor Everhart-Thornley ETD
	Opcjonalne	Chowany detektor elektronów wstecznie rozproszonych (RET-BSED)
		Detektor skaningowej transmisyjnej mikroskopii elektronowej (STEM)
		Energodyspersyjny spektrometr rentgenowski (EDS / EDX)
		Detektor dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (EBSD)
		Detektory do pracy w niskiej próżni
Akcesoria	Śluza boczna 4” i 8”
	Panel sterowania i trackball
	Sprzętowy moduł antykolizyjny
Obsługa	Nawigacja	Nawigacja optyczna na obrazie, nawigacja uproszczona, trackball (opcja)
Obsługa	Funkcje automatyczne	Automatyczna regulacja jasności i kontrastu, automatyczne ostrzenie (autofokus) oraz automatyczne ustawienie astygmatyzmu