CIQTEK SEM3200

CIQTEK SEM3200

Mikroskop elektronowy SEM3200 firmy CIQTEK to doskonały, uniwersalny skaningowy mikroskop elektronowy z włóknem wolframowym, charakteryzujący się wybitnymi możliwościami. Unikalna konstrukcja działa elektronowego z podwójną anodą zapewnia wysoką rozdzielczość oraz poprawia stosunek sygnału do szumu przy niskich napięciach przyspieszających. SEM 3200 oferuje szerokie możliwość obrazowania próbek zarówno w wysokiej oraz w niskiej próżni a także szeroką gamę akcesoriów dodatkowych co czyni go wszechstronnym systemem pomiarowym.

Źródło wstępnie wycentrowane włókno wolframowe

podwójna anoda (opcja)

Rozdzielczość w wysokiej próżni 3 nm przy 30 kV (detektor SE),

7 nm przy 3 kV (detektor SE),

4 nm przy 30 kV (detektor BSE);

Rozdzielczość w niskiej próżni (opcja): 3 nm przy 30 kV (detektor SE),

4 nm przy 30 kV (detektor BSE);

Zakres niskiej próżni LV 5–1000 Pa

 

Zakres napięcia przyspieszającego

od 0,2 kV do 30 kV
Zakres powiększenia 1– 300 000x
Stolik próbki X, Y ≥ 125 mm,

Z ≥ 50 mm

T od -10 do 70⁰

R 360⁰

Standardowe  

Detektor ETD

 

Opcjonalne Wysuwany detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BSED)
Detektor elektronów wtórnych (SE) do niskiej próżni LVD
Energodyspersyjny spektrometr rentgenowski (EDS / EDX)
Detektor dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (EBSD)

 

Tryb niskiej próżni w LV-SEM

Mikroskop SEM3200 firmy CIQTEK oferuje dwa poziomy trybu niskiej próżni.

Ciśnienie w komorze w zakresie 5–180 Pa jest osiągalne bez stosowania przysłony ograniczającej ciśnienie (PLA), natomiast zakres 180–1000 Pa – z wykorzystaniem przesłony PLA.

Dzięki specjalnej konstrukcji komory próżniowej obiektywu zredukowano średnią drogę swobodną elektronów w warunkach niskiej próżni, co pozwala osiągnąć rozdzielczość na poziomie 3 nm przy 30 kV.

Wiązka padających elektronów jonizuje cząsteczki powietrza znajdujące się nad powierzchnią, generując elektrony i jony. Jony te neutralizują ładunki powstające na powierzchni próbki, co pozwala na eliminację efektu ładowania.

Emisja elektronów wtórnych z powierzchni próbki jonizuje cząsteczki powietrza, generując jednocześnie elektrony, jony oraz fotony.

Powstałe elektrony jonizują następnie kolejne cząsteczki powietrza, w wyniku czego wytwarzana jest duża liczba fotonów, które są następnie rejestrowane przez detektor niskiej próżni (LVD – Low Vacuum Detector).

W trybie wysokiej próżni detektor LVD bezpośrednio rejestruje sygnał katodoluminescencji emitowany z próbki przy jednoczesnym obrazowaniu z kanału detektora elektronów wstecznie rozproszonych (BSED).

Podwójna struktura anody w dziale elektronowym

    

W przypadku próbek z materiałów węglowych, przy niskich napięciach wzbudzenia głębokość wnikania wiązki jest niewielka, co umożliwia rejestrację rzeczywistej morfologii powierzchni z bogatszymi szczegółami próbki.

W przypadku próbek z materiałów węglowych, przy niskich napięciach wzbudzenia głębokość wnikania wiązki jest niewielka, co umożliwia rejestrację rzeczywistej morfologii powierzchni z bogatszymi szczegółami.

Nawigacja optyczna

Wykorzystanie pionowo zamontowanej kamery komorowej do rejestracji obrazów optycznych w celu nawigacji stolika preparatu umożliwia bardziej intuicyjne i precyzyjne pozycjonowanie próbki.

Zastosowanie kamery umieszczonej pionowo nad komorą (często nazywanej kamerą przeglądową lub nawigacyjną) znacząco podnosi komfort i dokładność pracy w zaawansowanej mikroskopii elektronowej.

Automatyczna jasność i kontrast

 

Inteligentna korekcja astygmatyzmu

W tym trybie astygmatyzm w osiach X i Y zmienia się wraz z położeniem pikseli. Ostrość obrazu jest maksymalna przy optymalnej wartości astygmatyzmu, co umożliwia szybkie dostrojenie stygmatora.

 

Funkcje automatyczne

Ulepszone funkcje automatycznej jasności i kontrastu, automatycznego ustawiania ostrości oraz automatycznej korekcji astygmatyzmu.

Obrazowanie jednym kliknięciem!

 

Piana polimerowa

PUR

Napięcie przyspieszające 15 kV

Detektor ETD

Polymer foam 15 kV ETD
Fazy wydzieleniowe w stopie aluminium

Stop aluminium 2A12

Napięcie przyspieszające 15 kV

Detektor BSED

2A12 Aluminium alloy percipitation phase 15kV BSED
Pancerzyk okrzemek

Pory okrzemek

Napięcie przyspieszające 10 kV

Detektor ETD

diatoms 10 kV ETD

 

Specyfikacja:

CIQTEK SEM3200
Optyka

elektronowa

Źródło wstępnie wycentrowane włókno wolframowe, układ podwójnej anody, poprawiający rozdzielczości oraz jakość obrazowania przy niskim napięciu przyspieszjącym (opcja)
Rozdzielczość w wysokiej próżni 3 nm przy 30 kV (detektor SE),

7 nm przy 3 kV (detektor SE),

4 nm przy 30 kV (detektor BSE);

 

Rozdzielczość w niskiej próżni (opcja): 3 nm przy 30 kV (detektor SE),

4 nm przy 30 kV (detektor BSE);

Zakres niskiej próżni LV 5–1000 Pa

 

Zakres napięcia przyspieszającego od 0,2 kV do 30 kV
Zakres powiększenia 1– 300 000x
Komora Porty rozszerzeń 5
Kamera Optyczna nawigacji, kamera IR do podglądu wewnątrz komory

 

Stolik próbki X, Y ≥ 125 mm,

Z ≥ 50 mm

T od -10 do 70⁰

R 360⁰

 

Detektory Standardowe Detektor ETD
Opcjonalne Wysuwany detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BSED)

 

Detektor elektronów wtórnych (SE) do niskiej próżni LVD

 

Energodyspersyjny spektrometr rentgenowski (EDS / EDX)

 

Detektor dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (EBSD)

 

Akcesoria Śluza boczna 4”

 

Panel sterowania i trackball

 

Sprzętowy moduł antykolizyjny

 

Obsługa Nawigacja Nawigacja optyczna na obrazie, nawigacja uproszczona, trackball (opcja)

 

Funkcje automatyczne Automatyczna regulacja jasności i kontrastu, automatyczne ostrzenie (autofokus) oraz automatyczne ustawienie astygmatyzmu