Mikroskop elektronowy SEM3200 firmy CIQTEK to doskonały, uniwersalny skaningowy mikroskop elektronowy z włóknem wolframowym, charakteryzujący się wybitnymi możliwościami. Unikalna konstrukcja działa elektronowego z podwójną anodą zapewnia wysoką rozdzielczość oraz poprawia stosunek sygnału do szumu przy niskich napięciach przyspieszających. SEM 3200 oferuje szerokie możliwość obrazowania próbek zarówno w wysokiej oraz w niskiej próżni a także szeroką gamę akcesoriów dodatkowych co czyni go wszechstronnym systemem pomiarowym.
| Źródło | wstępnie wycentrowane włókno wolframowe
podwójna anoda (opcja) |
| Rozdzielczość w wysokiej próżni | 3 nm przy 30 kV (detektor SE),
7 nm przy 3 kV (detektor SE), 4 nm przy 30 kV (detektor BSE); |
| Rozdzielczość w niskiej próżni (opcja): | 3 nm przy 30 kV (detektor SE),
4 nm przy 30 kV (detektor BSE); Zakres niskiej próżni LV 5–1000 Pa |
|
Zakres napięcia przyspieszającego |
od 0,2 kV do 30 kV |
| Zakres powiększenia | 1– 300 000x |
| Stolik próbki | X, Y ≥ 125 mm,
Z ≥ 50 mm T od -10 do 70⁰ R 360⁰ |
| Standardowe |
Detektor ETD
|
| Opcjonalne | Wysuwany detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BSED) |
| Detektor elektronów wtórnych (SE) do niskiej próżni LVD | |
| Energodyspersyjny spektrometr rentgenowski (EDS / EDX) | |
| Detektor dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (EBSD) |
Mikroskop SEM3200 firmy CIQTEK oferuje dwa poziomy trybu niskiej próżni.
Ciśnienie w komorze w zakresie 5–180 Pa jest osiągalne bez stosowania przysłony ograniczającej ciśnienie (PLA), natomiast zakres 180–1000 Pa – z wykorzystaniem przesłony PLA.
Dzięki specjalnej konstrukcji komory próżniowej obiektywu zredukowano średnią drogę swobodną elektronów w warunkach niskiej próżni, co pozwala osiągnąć rozdzielczość na poziomie 3 nm przy 30 kV.

Wiązka padających elektronów jonizuje cząsteczki powietrza znajdujące się nad powierzchnią, generując elektrony i jony. Jony te neutralizują ładunki powstające na powierzchni próbki, co pozwala na eliminację efektu ładowania.

Emisja elektronów wtórnych z powierzchni próbki jonizuje cząsteczki powietrza, generując jednocześnie elektrony, jony oraz fotony.
Powstałe elektrony jonizują następnie kolejne cząsteczki powietrza, w wyniku czego wytwarzana jest duża liczba fotonów, które są następnie rejestrowane przez detektor niskiej próżni (LVD – Low Vacuum Detector).

W trybie wysokiej próżni detektor LVD bezpośrednio rejestruje sygnał katodoluminescencji emitowany z próbki przy jednoczesnym obrazowaniu z kanału detektora elektronów wstecznie rozproszonych (BSED).

W przypadku próbek z materiałów węglowych, przy niskich napięciach wzbudzenia głębokość wnikania wiązki jest niewielka, co umożliwia rejestrację rzeczywistej morfologii powierzchni z bogatszymi szczegółami próbki.

W przypadku próbek z materiałów węglowych, przy niskich napięciach wzbudzenia głębokość wnikania wiązki jest niewielka, co umożliwia rejestrację rzeczywistej morfologii powierzchni z bogatszymi szczegółami.
Wykorzystanie pionowo zamontowanej kamery komorowej do rejestracji obrazów optycznych w celu nawigacji stolika preparatu umożliwia bardziej intuicyjne i precyzyjne pozycjonowanie próbki.
Zastosowanie kamery umieszczonej pionowo nad komorą (często nazywanej kamerą przeglądową lub nawigacyjną) znacząco podnosi komfort i dokładność pracy w zaawansowanej mikroskopii elektronowej.


W tym trybie astygmatyzm w osiach X i Y zmienia się wraz z położeniem pikseli. Ostrość obrazu jest maksymalna przy optymalnej wartości astygmatyzmu, co umożliwia szybkie dostrojenie stygmatora.

Ulepszone funkcje automatycznej jasności i kontrastu, automatycznego ustawiania ostrości oraz automatycznej korekcji astygmatyzmu.
Obrazowanie jednym kliknięciem!

Napięcie przyspieszające 15 kV
Detektor ETD
Napięcie przyspieszające 15 kV
Detektor BSED
Napięcie przyspieszające 10 kV
Detektor ETD
| CIQTEK SEM3200 | ||
| Optyka
elektronowa |
Źródło | wstępnie wycentrowane włókno wolframowe, układ podwójnej anody, poprawiający rozdzielczości oraz jakość obrazowania przy niskim napięciu przyspieszjącym (opcja) |
| Rozdzielczość w wysokiej próżni | 3 nm przy 30 kV (detektor SE),
7 nm przy 3 kV (detektor SE), 4 nm przy 30 kV (detektor BSE);
|
|
| Rozdzielczość w niskiej próżni (opcja): | 3 nm przy 30 kV (detektor SE),
4 nm przy 30 kV (detektor BSE); Zakres niskiej próżni LV 5–1000 Pa
|
|
| Zakres napięcia przyspieszającego | od 0,2 kV do 30 kV | |
| Zakres powiększenia | 1– 300 000x | |
| Komora | Porty rozszerzeń | 5 |
| Kamera | Optyczna nawigacji, kamera IR do podglądu wewnątrz komory
|
|
| Stolik próbki | X, Y ≥ 125 mm,
Z ≥ 50 mm T od -10 do 70⁰ R 360⁰
|
|
| Detektory | Standardowe | Detektor ETD |
| Opcjonalne | Wysuwany detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BSED)
|
|
| Detektor elektronów wtórnych (SE) do niskiej próżni LVD
|
||
| Energodyspersyjny spektrometr rentgenowski (EDS / EDX)
|
||
| Detektor dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (EBSD)
|
||
| Akcesoria | Śluza boczna 4”
|
|
| Panel sterowania i trackball
|
||
| Sprzętowy moduł antykolizyjny
|
||
| Obsługa | Nawigacja | Nawigacja optyczna na obrazie, nawigacja uproszczona, trackball (opcja)
|
| Funkcje automatyczne | Automatyczna regulacja jasności i kontrastu, automatyczne ostrzenie (autofokus) oraz automatyczne ustawienie astygmatyzmu | |